国产高性能激光干涉仪（SJ6000）采用进口高稳定氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现多种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(约8分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光输出，采用不同的光学镜组可以测量出线性长度、角度、直线度、平行度、平面度以及垂直度等几何量，并且可以进行动态测量分析。
国产高性能激光干涉仪（SJ6000）数据库内置标准：
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序号 |
标准号 |
标准名称 |
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1 |
GB 17421-2000 |
中国国家标准 |
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2 |
GB 10931-89 |
中国国家标准 |
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3 |
ISO230-1997 |
1997版国际标准 |
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4 |
ISO230-2006 |
2006版国际标准 |
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5 |
ISO230-2014 |
2014版国际标准 |
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6 |
ANSI B5.54 |
美国国家标准 |
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7 |
ASME B89.1.12M |
美国机械工程师协会标准 |
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8 |
NMTBA |
美国机床协会标准 |
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9 |
BS 3800 |
英国机床标准 |
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10 |
BS 4656 |
英国三测机标准 |
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11 |
JIS B6330 |
日本国家标准 |
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12 |
VDI 3441 |
德国机床标准 |
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13 |
JJG 117-2005 |
平板检定规程 |
国产高性能激光干涉仪（SJ6000）技术指标：
系统性能
测量方式：单频
稳频精度：±0.05ppm
动态采集频率：50 kHz
预热时间：约8分钟
工作温度范围：(0～40)℃
存储温度范围：(-20～70)℃
环境湿度：(0～95)%RH
环境补偿示值误差
空气温度传感器：±0.1℃ (0～40)℃，分辨力0.01℃
材料温度传感器：±0.1℃ (0～55)℃，分辨力0.01℃
空气湿度传感器：±5%RH (0～95) %RH
大气压力传感器：±0.1kPa (65～115)kPa
线性测量
测量距离：(0～80)m
测量精度：±0.5ppm (0～40)℃
测量分辨力：1nm
测量最大速度：4m/s
角度测量
轴向量程：(0～15)m
测量范围：±10°
测量精度：±(0.02%R+0.1+0.25M) ″(R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)
测量分辨力：0.1″
平面度测量
轴向量程：(0～15)m
测量范围：±1.5 mm
测量精度：±(0.2%R+0.02M2) μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)
基板尺寸：180mm可调，360mm可调
测量分辨力：0.1μm
直线度测量
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轴向量程 |
测量范围 |
测量精度 |
分辨力 |
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短距离 |
(0.1～4.0)m |
±3mm |
±(0.5+0.1%R+0.1M2) μm |
0.01μm |
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长距离 |
(1.0～30.0)m |
±3mm |
±(5.0+2.0%R+0.05M2) μm |
0.1μm |
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注：R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m |
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垂直度测量
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轴向量程 |
测量范围 |
测量精度 |
分辨力 |
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短距离 |
(0.1～3.0)m |
±3mm |
±(0.5+0.1%R+0.2M)″ |
0.01μm |
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长距离 |
(1.0～20.0)m |
±3mm |
±(0.5+0.5%R+0.04M)″ |
0.1μm |
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注：R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m |
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精密转台
型号：WR50
角度测量范围：(0～360)°
测量精度：±1″
分辨力：0.1″
最高转速：10rpm
重量：2.1kg
供电：锂电池
通信：蓝牙传输
触发盒
型号：CT70
供电： DC 12V
信号输入：差分TTL（RS422）正交编码信号、10uApp微电流信号
输出形式：10us脉冲
触发延时：0.1us
尺寸重量与供电
便携箱尺寸：外尺寸：613mm×460mm×230mm
线性配置重量：18Kg
供电电源：(100～240)VAC